開(kāi)發三軸掃描振鏡是由于輸出鏡頭的成本和大小(xiǎo)限制以及二軸掃描振鏡的光(guāng)束孔徑限制，這種限制有礙于在中等大小(xiǎo)掃描範圍内産生(shēng)較小(xiǎo)光(guāng)斑的功能(néng)。三軸掃描振鏡滿足客戶對于小(xiǎo)光(guāng)斑大尺寸加工(gōng)範圍的應用要求，并允許用戶使用相(xiàng)同掃描振鏡改變工(gōng)作距離、範圍和光(guāng)斑大小(xiǎo)。三軸技(jì)術(shù)也适用于針對移動目标的動态應用，因為(wèi)在三維應用中，相(xiàng)應的激光(guāng)設備能(néng)夠加工(gōng)非平面部件(jiàn)或不光(guāng)滑表面以及高(gāo)功率産品。現在，這些解決方案用于頻率 nd:yag、二極管和 co2 激光(guāng)器(qì)。

功能(néng)描述

 在三軸掃描振鏡工(gōng)作時，激光(guāng)束首先進入移動鏡頭。透過移動鏡頭之後，光(guāng)束快速分散，直到(dào)進入一(yī)個(gè)或兩個(gè)聚焦鏡頭。現在會(huì)聚的光(guāng)束穿過鏡頭，并由一(yī)組 x 和 y 鏡片(這些鏡片由振鏡式掃描器(qì)移動)引導。x 和 y 鏡片呈直角排列，向下(xià)引導光(guāng)束，覆蓋工(gōng)作範圍的長(cháng)和寬。

 在沒有焦點校正的掃描振鏡中，向任一(yī)軸向移動工(gōng)作範圍中心聚焦的激光(guāng)光(guāng)斑時，都會(huì)劃出一(yī)個(gè)弧形，在工(gōng)作範圍上(shàng)方産生(shēng)一(yī)個(gè)聚焦點的球面。在遠(yuǎn)離工(gōng)作範圍中心的位置，激光(guāng)光(guāng)束沒有聚焦。這是因為(wèi)當掃描器(qì)将光(guāng)束向遠(yuǎn)離工(gōng)作範圍中心的方向引導時，從(cóng)鏡頭到(dào)工(gōng)件(jiàn)的距離增加了。