客服電(diàn)話0451-51707266
| 速度 | |||
| 标記速度（1） | 3000mm/s | ||
| 定位速度（1） | 5000mm/s | ||
| 寫入速度（2） | 280cps | ||
| 階躍響應時間（全行程1%） | ≤0.1ms | ||
| 階躍響應時間（全行程10%） | ≤0.4ms | ||
| 跟蹤誤差 | ≤200us | ||
| 精度及誤差 | |||
| 線性度 | ≥99.9% | ||
| 重複定位精度 | ＜8µRad/℃ | ||
| 增益誤差 | ＜5mRad | ||
| 零點偏移（批量原點誤差） | ＜5mRad/℃ | ||
| 長(cháng)時間漂移（連續工(gōng)作8小(xiǎo)時） | ＜0.8mRad | ||
| 比例漂移 | ＜75PPM/℃ | ||
| 零點漂移 | ＜20µRad/℃ | ||
| 鏡片損傷阈值 | |||
| Si基體 | 10J/cm2 | ||
| 鏡片反射波長(cháng)（3） | 10600nm / 1064nm / 355nm | ||
| 電(diàn)源及信号 | |||
| 輸入電(diàn)壓 | ±15VDC | ||
| 最大平均工(gōng)作電(diàn)流 | ＜1.5A | ||
| 信号接口 | 數字 | XY2-100 | |
| 模拟 | ±5V | ||
| 峰值電(diàn)流 | 18A | ||
| 位置信号輸入抗阻 | 10KΩ±1% | ||
| 機(jī)械掃描角度 | ±11.5° | ||
| 工(gōng)作電(diàn)流、溫度、尺寸 | |||
| 工(gōng)作溫度 | 25±20℃ | ||
| 儲存溫度 | -10℃--60℃ | ||
| 激光(guāng)輸入孔徑 | 10-12mm | ||
| 振鏡尺寸（長(cháng)*寬*高(gāo)） | 122*96.5*101.0mm | ||
| 振鏡重量 | ≈1.8kg | ||
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